| Motifs en silicium représentant des engrenages réalisés par gravure profonde. Ces images ont été obtenues au moyen d'un profilomètre optique Fogale Nanotech (système ZoomSurf) par interférométrie en lumière blanche. Hauteur des motifs : 21 microm |  |
Auteur : BRELUZEAU Cédric
Laboratoire : UMR8622 - INSTITUT D'ELECTRONIQUE FONDAMENTALE (IEF), ORSAY